壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用的傳感器。一般來(lái)說(shuō),普通
壓力傳感器的輸出是模擬信號,模擬信號是指信息參數在給定范圍內的連續信號?;蛘咴谶B續時(shí)間間隔內,代表信息的特征可以在任何時(shí)刻顯示為任何值的信號。我們通常使用的壓力傳感器主要是由壓電效應制成的,也稱(chēng)為壓電傳感器。
在選擇壓力傳感器時(shí),應考慮其綜合精度,壓力傳感器的精度受到哪些方面的影響?事實(shí)上,造成傳感器誤差的因素很多。讓我們注意四個(gè)不可避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。
一、偏移誤差:由于
壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內的垂直偏移是恒定的,因此變換器擴散和激光調節校正的變化會(huì )產(chǎn)生偏移誤差。
二、靈敏度誤差:誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,則靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,則靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。誤差的原因是擴散過(guò)程的變化。
三、線(xiàn)性誤差:這是對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素。誤差的原因是硅片的物理非線(xiàn)性,但對于帶放大器的傳感器,也應包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹曲線(xiàn)或凸曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器。
四、滯后誤差:在大多數情況下,壓力傳感器的滯后誤差可以完全忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。滯后誤差通常只需要考慮在壓力變化很大的情況下。
壓力傳感器的四個(gè)誤差是不可避免的。我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設備,利用高科技技術(shù)來(lái)減少這些誤差。我們也可以在出廠(chǎng)時(shí)進(jìn)行一點(diǎn)誤差校準,盡可能減少誤差,以滿(mǎn)足客戶(hù)的需求。